檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="電漿輔助化學氣相沉積"
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氧化銦鍚(indium tin oxide, ITO)在可見光範圍具有量好的導電性及透光性,因此在光學元件上常利用ITO來增加載子的傳導與收集。以單晶矽太陽能電池為例,除了可以做為透明導電層之外,還…
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本論文的實驗採用分子結構類似TEOS的含碳氫氟長鏈和矽氧烷分子先驅物十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷基-三乙氧基矽烷 (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl-t…
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本論文主要探討如何藉由擴散阻隔層的加入適時阻擋低溫下鋁擴散進入非晶矽/單晶矽異質接合界面,以求得p型背電場形成之同時亦保有高異質接合鈍化效果之目的。我們選用兩種擴散阻隔層:第一種是以5奈米厚的氧化銦…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎,分為兩部分:第一部份為成長低介電係數薄膜,實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…